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精密型冷光蝕刻系統(tǒng)在半導體晶圓制程的應用
2025-01-28
晶圓是指制作硅半導體電路所用的硅晶片，其原始材料是碳化硅。碳化硅作為新一代高頻、高功率器件的襯底材料，廣泛應用在高端制造業(yè)領域，如新一代電子工業(yè)設備、航空航天、智能電網(wǎng)、汽車電子、新能源發(fā)電、新能源汽車等領域。
在碳化硅晶圓片的芯片制作過程中，為了具有芯片區(qū)分、追溯等功能，需要對每一顆芯片分別進行獨一無二的條碼標記。激光蝕刻技術作為一種無接觸式的加工方法，具有對芯片破壞小、加工效率高、過程無耗材的優(yōu)點，尤其在晶圓片越來越輕薄化對加工質(zhì)量和精度要求越來越高的趨勢下其優(yōu)勢更為明顯。傳統(tǒng)芯片蝕刻方式一般為油墨印刷或機械式針刻等，有效率低、耗材量大等缺點。華之尊研發(fā)的一款精密型冷光蝕刻系統(tǒng)HZZ-M300U，采用355nm的紫外激光器、蝕刻控制器與高速鏡系統(tǒng)配合，材料對紫外光的吸收率高，聚焦光斑≤0.01mm，打標內(nèi)容根據(jù)加工圖檔由振鏡掃描來實現(xiàn)。冷光蝕刻最小字符高度0.1mm,深度5um,最大掃描速度最大8000mm/s。
晶圓冷光蝕刻
二次元檢測
單晶硅片制造流程圖
隨著5G技術、物聯(lián)網(wǎng)以及科學技術的不斷發(fā)展，半導體晶圓行業(yè)的需求量也在不斷增加，激光加工也逐漸取代傳統(tǒng)的機械加工。華之尊立足數(shù)字工業(yè)·賦能教育未來，憑借20多年的先進工業(yè)應用之沉淀，服務了全國500多所高校，為他們提供“激光技術+N+智能制造”解決方案，助力其在科研、教學和人才培養(yǎng)上榮獲各類成果獎。
華之尊激光主營：激光除銹機、激光打標、激光熔覆、激光增材制造、激光修復、激光焊接機、激光雕刻機、激光切割機、激光雕刻切割機、模型雕刻機、金屬激光切割機、光纖激光切割機、微流控激光機等激光設備。為客戶提供技術咨詢、專題培訓、全面解決方案等技術服務。華之尊提供實驗室建設整體解決方案！
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